半導(dǎo)體行業(yè)廢氣處理解決方案

芯片廠在晶圓芯片生產(chǎn)過(guò)程中產(chǎn)生的酸堿廢氣。首先通過(guò)系統(tǒng)負(fù)壓支管收集(hookup,SScoating),并匯總到主管(PP風(fēng)管),最后由集氣管道(DN700-DN2500,3000mm*1500mm)進(jìn)入PP洗滌塔進(jìn)行洗滌處理,最后由PP風(fēng)機(jī)抽取經(jīng)PP煙囪高空排放。

PP排氣管道

PP洗滌塔

PP風(fēng)機(jī)

洗滌塔安裝施工圖(黑色為PE煙囪部分)

PP煙囪高空排放