半導體行業(yè)廢氣處理解決方案

芯片廠在晶圓芯片生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的酸堿廢氣。首先通過系統(tǒng)負壓支管收集(hookup,SScoating),并匯總到主管(PP風管),最后由集氣管道(DN700-DN2500,3000mm*1500mm)進入PP洗滌塔進行洗滌處理,最后由PP風機抽取經(jīng)PP煙囪高空排放。

PP排氣管道

PP洗滌塔

PP風機

洗滌塔安裝施工圖(黑色為PE煙囪部分)

PP煙囪高空排放
芯片廠在晶圓芯片生產(chǎn)過程中產(chǎn)生的酸堿廢氣。首先通過系統(tǒng)負壓支管收集(hookup,SScoating),并匯總到主管(PP風管),最后由集氣管道(DN700-DN2500,3000mm*1500mm)進入PP洗滌塔進行洗滌處理,最后由PP風機抽取經(jīng)PP煙囪高空排放。
PP排氣管道
PP洗滌塔
PP風機
洗滌塔安裝施工圖(黑色為PE煙囪部分)
PP煙囪高空排放